P R O D U C T S
1099nm納秒激光器
激光隱切是一種非接觸式的切割技術(shù)，可以精準(zhǔn)高效地切割半導(dǎo)體材料。頻準(zhǔn)激光推出的晶圓隱切激光器，已經(jīng)在多種晶圓材料上實(shí)現(xiàn)了高質(zhì)量的隱切。脈沖長(zhǎng)度和波形可編輯的紅外激光器，脈沖寬度和重頻連續(xù)可調(diào)，實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓的精準(zhǔn)加工。
特點(diǎn)
- 高功率
- 波形可編輯
- 光束質(zhì)量?jī)?yōu)異
- 脈寬可調(diào)
- 重頻可調(diào)
應(yīng)用
- 晶圓隱形切割
主要參數(shù)
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參數(shù) |
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型號(hào) |
FL-NSF-1100-20-QCW |
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中心波長(zhǎng) |
1099nm |
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脈寬調(diào)節(jié)范圍 |
100-800ns（可調(diào)） |
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重頻調(diào)節(jié)范圍 |
50-200kHz（可調(diào)） |
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平均功率 |
15W |
20W |
30W |
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光斑直徑 |
3±0.2mm |
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發(fā)散角 (全角) |
<0.5mrad |
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橢圓度 |
＞95% |
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光束質(zhì)量 |
TEM00，M²<1.2 |
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偏振 |
線(xiàn)偏振>20dB |
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功率穩(wěn)定性 |
<0.3% @3hours, RMS |
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波形 |
高斯/方波可選 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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預(yù)熱時(shí)間 |
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冷啟動(dòng) |
<2 小時(shí) |
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熱啟動(dòng) |
<15分鐘 |
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尺寸和重量 |
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激光控制器尺寸 |
≤483mm x 422mm x 105mm |
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激光頭尺寸 |
≤68.5mm x 278mm x 46mm |
≤520mm x 200mm x 95mm |
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水冷機(jī)尺寸 |
≤58cm x 29cm x 52cm |
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激光頭重量 |
≤10kg |
≤15kg |
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激光控制器重量 |
≤20kg |
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水冷機(jī)重量 |
≤25kg |
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激光頭和控制器之間的線(xiàn)纜長(zhǎng)度 |
不可拆卸線(xiàn)纜長(zhǎng)度＞2米 |
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使用環(huán)境和供電功耗 |
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工作溫度（無(wú)凝露條件下） |
15-35 ℃（水冷） |
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供電 |
100V-240V, AC, 50/60Hz |
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功耗 |
<200W |
<250W |
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通信 |
RS422 |
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更高功率，更多波長(zhǎng)，可定制方案
