P R O D U C T S
305-383nm激光器
基于高功率、低噪聲光纖放大以及和頻與倍頻技術(shù)，實(shí)現(xiàn)波長在305-383nm范圍內(nèi)任意一個(gè)中心波長的高功率窄線寬激光輸出。
特點(diǎn)
- 窄線寬：<40kHz
- 低強(qiáng)度噪聲
- 高功率
- 主動功率穩(wěn)定：<0.75% rms，3hrs
- 優(yōu)異的光束質(zhì)量（M2 <1.3）
- 永不跳模
- 耐高低溫、震動的工作環(huán)境
應(yīng)用
- 干涉曝光
- 晶圓量測
- 精密測量
主要參數(shù)
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光學(xué)參數(shù) |
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型號 |
FL-SF-XXXX-YY-CW(1) |
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可選中心波長 |
305-383nm |
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常用波長 |
355nm |
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運(yùn)行模式 |
連續(xù) |
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輸出功率 |
＞0.3W |
＞1W |
＞2W |
＞4W |
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監(jiān)控輸出功率 |
>3mW |
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調(diào)諧范圍（溫度） |
＞0.12nm，連續(xù)不跳模 |
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輸出模式 |
空間準(zhǔn)直輸出，直徑0.7-1.0mm |
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線寬（2）（100us積分時(shí)間） |
＜40kHz |
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偏振消光比 |
＞20dB |
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功率穩(wěn)定性（3 小時(shí) RMS） |
＜0.75% |
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光束質(zhì)量 |
M2＜1.3 |
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PZT調(diào)諧范圍 |
＞3GHz |
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PZT調(diào)諧帶寬 |
＞5kHz |
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電流調(diào)諧范圍 |
＞1GHz |
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電流調(diào)諧帶寬 |
＞1MHz |
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冷卻方式 |
風(fēng)冷/水冷 |
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(1)XXXX中心波長，單位nm，YY激光功率，單位W，例如355nm輸出功率>2W： FL-SF-355-2-CW。
(2)光纖延遲自外差拍頻法測量。
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選件 |
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AOM選件 |
AOM調(diào)諧范圍：＞±5MHz AOM調(diào)諧帶寬：＞500kHz |
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其他參數(shù) |
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供電 |
100-240V , 50/60Hz |
更高功率，更多波長，可定制方案
