P R O D U C T S
313nm激光器
基于單頻種子激光器、光纖激光放大以及高效率的頻率轉(zhuǎn)換技術(shù)，頻準(zhǔn)激光可以提供窄線寬的313-325nm激光器，最大輸出為2W，同時(shí)具有高頻率穩(wěn)定度，長(zhǎng)壽命以及優(yōu)異的光束質(zhì)量。
特點(diǎn)
- 窄線寬
- 高功率
- 優(yōu)異的光束質(zhì)量
- 永不跳模
應(yīng)用
- 精密測(cè)量
- 晶圓量測(cè)
- 干涉曝光
主要參數(shù)
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參數(shù)
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型號(hào)
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FL-SF-X-Y-CW
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中心波長(zhǎng)
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313nm-325nm中心波長(zhǎng)可定制
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線寬(100 us 積分時(shí)間)
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<40kHz
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工作模式
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連續(xù)激光輸出
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輸出功率
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>300mW
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>1W
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>2W
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光斑直徑
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1±0.15 mm
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光斑束腰位置（相對(duì)輸出窗口）
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輸出窗口±0.5m內(nèi)
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發(fā)散角 (全角)
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<0.6mrad
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橢圓度
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>90%
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指向穩(wěn)定性 (峰峰值)
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<50μrad@3h
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光束質(zhì)量
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TEM00，M²<1.2
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偏振
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線偏振, 豎直±3°, >20dB
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功率穩(wěn)定性
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<0.75% @3hours, RMS
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相對(duì)強(qiáng)度噪聲
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<0.2%(RMS, 10Hz-10MHz 積分)
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冷卻方式
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水冷
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預(yù)熱時(shí)間
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冷啟動(dòng)
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<2 小時(shí)
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熱啟動(dòng)
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<15 分鐘
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尺寸和重量
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激光控制器尺寸
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≤483mm x 520mm x 132mm
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激光頭尺寸
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≤390mm x 310mm x 130mm
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水冷機(jī)尺寸
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≤58cm x 29cm x 52cm
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激光頭重量
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≤18kg
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激光控制器重量
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≤20kg
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水冷機(jī)重量
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≤25kg
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激光頭和控制器之間的線纜長(zhǎng)度
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不可拆卸光纖長(zhǎng)度>1.5m
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使用環(huán)境和供電功耗
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工作溫度（無(wú)凝露條件下）
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15-35 ℃（水冷）
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供電
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100V-240V, AC, 50/60Hz
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功耗
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<170W
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<200W
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<240W
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通信
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RS422
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更高功率，更多波長(zhǎng)，可定制方案
