P R O D U C T S
257nm激光器
基于單頻種子激光器、光纖激光放大以及高效率的頻率轉(zhuǎn)換技術(shù)，頻準(zhǔn)激光可以提供窄線寬的257nm的窄線寬激光器，最大輸出為1W，同時(shí)具有高頻率穩(wěn)定度，長(zhǎng)壽命以及優(yōu)異的光束質(zhì)量。
特點(diǎn)
- 長(zhǎng)壽命
- 高功率
- 窄線寬
- 優(yōu)異的光束質(zhì)量
- 永不跳模
應(yīng)用
- 精密測(cè)量
- 半導(dǎo)體檢測(cè)
主要參數(shù)
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參數(shù) |
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型號(hào) |
FL-SF-257-X-CW |
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中心波長(zhǎng) |
257.00nm |
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線寬(100 μs 積分時(shí)間) |
<50kHz |
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工作模式 |
連續(xù)激光輸出 |
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輸出功率 |
>30mW |
>100mW |
>500mW |
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光斑直徑 |
1±0.15 mm |
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光斑束腰位置（相對(duì)輸出窗口） |
輸出窗口±0.5m內(nèi) |
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發(fā)散角 (全角) |
<0.5mrad |
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橢圓度 |
>90% |
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指向穩(wěn)定性 (峰峰值) |
<50μrad@3h |
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光束質(zhì)量 |
TEM00，M²<1.3 |
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偏振 |
線偏振, 豎直±3°, >20dB |
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功率穩(wěn)定性 |
<1% @3hours, RMS |
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相對(duì)強(qiáng)度噪聲 |
<0.2%(RMS, 10Hz-10MHz 積分) |
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冷卻方式 |
風(fēng)冷/水冷 |
水冷 |
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預(yù)熱時(shí)間 |
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冷啟動(dòng) |
<2 小時(shí) |
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熱啟動(dòng) |
<15 分鐘 |
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尺寸和重量 |
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激光控制器尺寸 |
≤460mm x 420mm x 133mm （30mW,100mW） |
≤483mm x 304mm x 133mm (500mW,1W) |
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激光頭尺寸 |
≤390mm x 310mm x 130mm （30mW,100mW） |
≤300mm x 530mm x 139mm （500mW,1W） |
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水冷機(jī)尺寸 |
≤58cm x 29cm x 52cm |
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激光頭重量 |
≤20kg |
≤25kg |
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激光控制器重量 |
≤25kg |
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水冷機(jī)重量 |
≤25kg |
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激光頭和控制器之間的線纜長(zhǎng)度 |
不可拆卸光纖長(zhǎng)度>1.5m |
可拆卸線纜長(zhǎng)度＞5米 |
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使用環(huán)境和供電功耗 |
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工作溫度（無(wú)凝露條件下） |
15-30 ℃（風(fēng)冷） |
15-35 ℃（水冷） |
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供電 |
100V-240V, AC, 50/60Hz |
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功耗 |
<120W |
<120W |
<130W |
<140W |
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通信 |
RS422 |
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更高功率，更多波長(zhǎng)，可定制方案
