P R O D U C T S
313nm窄線寬激光器
基于單頻種子激光器、光纖激光放大以及高效率的頻率轉(zhuǎn)換技術(shù)，頻準(zhǔn)激光可以提供窄線寬的313nm激光器，最大輸出為2W，同時具有高頻率穩(wěn)定度，長壽命以及優(yōu)異的光束質(zhì)量。
特點
- 窄線寬
- 高功率
- 優(yōu)異的光束質(zhì)量
- 永不跳模
應(yīng)用
- 精密測量
- 晶圓量測
- 干涉曝光
主要參數(shù)
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參數(shù) |
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型號 |
FL-SF-313-X-CW |
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中心波長 |
313nm-320nm中心波長可定制 |
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線寬(100 us 積分時間) |
<40kHz |
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工作模式 |
連續(xù)激光輸出 |
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輸出功率 |
>300mW |
>1W |
>2W |
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光斑直徑 |
1±0.15 mm |
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光斑束腰位置（相對輸出窗口） |
輸出窗口±0.5m內(nèi) |
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發(fā)散角 (全角) |
<0.6mrad |
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橢圓度 |
>90% |
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指向穩(wěn)定性 (峰峰值) |
<50μrad@3h |
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光束質(zhì)量 |
TEM00，M²<1.2 |
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偏振 |
線偏振, 豎直±3°, >20dB |
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功率穩(wěn)定性 |
<0.75% @3hours, RMS |
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相對強度噪聲 |
<0.2%(RMS, 10Hz-10MHz 積分) |
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冷卻方式 |
水冷 |
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預(yù)熱時間 |
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冷啟動 |
<2 小時 |
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熱啟動 |
<15 分鐘 |
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尺寸和重量 |
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激光控制器尺寸 |
≤483mm x 520mm x 132mm |
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激光頭尺寸 |
≤390mm x 310mm x 130mm |
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水冷機尺寸 |
≤58cm x 29cm x 52cm |
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激光頭重量 |
≤18kg |
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激光控制器重量 |
≤20kg |
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水冷機重量 |
≤25kg |
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激光頭和控制器之間的線纜長度 |
不可拆卸光纖長度>1.5m |
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使用環(huán)境和供電功耗 |
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工作溫度（無凝露條件下） |
15-35 ℃（水冷） |
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供電 |
100V-240V, AC, 50/60Hz |
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功耗 |
<170W |
<200W |
<240W |
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通信 |
RS422 |
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更高功率，更多波長，可定制方案
