P R O D U C T S
1099nm脈沖激光器
激光隱切是一種非接觸式的切割技術，可以精準高效地切割半導體材料。頻準激光推出的晶圓隱切激光器，已經在多種晶圓材料上實現了高質量的隱切。脈沖長度和波形可編輯的紅外激光器，脈沖寬度和重頻連續可調，實現對晶圓的精準加工。
特點
- 高功率
- 波形可編輯
- 光束質量優異
- 脈寬可調
- 重頻可調
應用
- 晶圓隱形切割
主要參數
|
參數 |
|||
|
型號 |
FL-NSF-1100-20-QCW |
||
|
中心波長 |
1099nm |
||
|
脈寬調節范圍 |
100-800ns（可調） |
||
|
重頻調節范圍 |
50-200kHz（可調） |
||
|
平均功率 |
10W |
20W |
|
|
光斑直徑 |
3±0.2mm |
||
|
發散角 (全角) |
<0.5mrad |
||
|
橢圓度 |
＞95% |
||
|
光束質量 |
TEM00，M²<1.2 |
||
|
偏振 |
線偏振>20dB |
||
|
功率穩定性 |
<0.3% @3hours, RMS |
||
|
波形 |
高斯/方波可選 |
||
|
冷卻方式 |
水冷 |
||
|
預熱時間 |
|||
|
冷啟動 |
<2 小時 |
||
|
熱啟動 |
<15分鐘 |
||
|
尺寸和重量 |
|||
|
激光控制器尺寸 |
≤483mm x 422mm x 105mm |
||
|
激光頭尺寸 |
≤68.5mm x 278mm x 46mm |
≤520mm x 200mm x 95mm |
|
|
水冷機尺寸 |
≤58cm x 29cm x 52cm |
||
|
激光頭重量 |
≤10kg |
≤15kg |
|
|
激光控制器重量 |
≤20kg |
||
|
水冷機重量 |
≤25kg |
||
|
激光頭和控制器之間的線纜長度 |
不可拆卸線纜長度＞2米 |
||
|
使用環境和供電功耗 |
|||
|
工作溫度（無凝露條件下） |
15-35 ℃（水冷） |
||
|
供電 |
100V-240V, AC, 50/60Hz |
||
|
功耗 |
<200W |
<250W |
|
|
通信 |
RS422 |
||
更高功率，更多波長，可定制方案
