頻準激光的高性能工業用激光器, 具有窄線寬,高功率,長壽命等特點,在干涉曝光應用中,激光器可提供均勻、穩定的相干光,配合精密光學系統形成高精度干涉條紋,將電路圖案精準轉移到光刻膠上,為半導體器件的微納結構制造奠定堅實基礎。
解決方案
干涉曝光
波長覆蓋范圍
177 - 5000nm
頻準激光的高性能工業用激光器, 具有窄線寬,高功率,長壽命等特點,在干涉曝光應用中,激光器可提供均勻、穩定的相干光,配合精密光學系統形成高精度干涉條紋,將電路圖案精準轉移到光刻膠上,為半導體器件的微納結構制造奠定堅實基礎。