激光隱切作為半導體制造領域中極具創新性的非接觸式切割技術,憑借其獨特的工作原理展現出顯著優勢。它通過將高能量激光束聚焦于晶圓材料內部特定深度,形成改性層,后續再通過外力或熱應力使材料沿改性層精準分離,整個過程不會與材料表面發生直接接觸,從而有效避免了傳統切割方式可能造成的邊緣崩裂、材料損傷等問題,實現了對半導體材料微米級甚至納米級的精準切割,切割效率較傳統工藝提升顯著,能大幅縮短生產周期。
解決方案
晶圓加工
波長覆蓋范圍
177 - 5000nm